2024-07-02
在半導(dǎo)體生產(chǎn)領(lǐng)域，晶圓厚度的精確測量對保證產(chǎn)品質(zhì)量和提升生產(chǎn)效率至關(guān)重要。傳統(tǒng)的測量方法存在成本高、操作復(fù)雜以及精度不足的問題。為此，我們提出了一種創(chuàng)新的解決方案，即采用國產(chǎn)光譜共聚焦傳感器，以降低成本并提高測量效率。
點光譜共焦位移傳感器對晶圓量測的技術(shù)和功能要求：
1.超高分辨率（納米級）、亞微米級高精度，提高誤檢率
2.同軸光測量，不受光強和被測物表面材質(zhì)影響，無測量盲區(qū)
3.軟硬件一體化，支持多型號和多檢測場景，幫助客戶降低生產(chǎn)成本
4.測量精度高（μm級別精度）
5.角度適應(yīng)性廣
6.環(huán)境適應(yīng)性強（如可能存在溫度，機臺震動，平臺移動等環(huán)境因素）
7.高靈敏度，高信噪比光學(xué)的非接觸測量
點共焦對晶圓量測優(yōu)劣勢：
1.分辨率高：理論上波長可以一直被細分，因此通過特殊鏡頭可以輸出相當(dāng)高的分辨率。
2.溫度穩(wěn)定性好：內(nèi)部僅有鏡頭結(jié)構(gòu)設(shè)計，鏡頭本身不發(fā)熱，溫度漂移小，對于微米以及亞微米測量，溫漂是關(guān)鍵。
3.自動聚焦：在量程范圍內(nèi)，被測物的位置高度上下變動時都有相應(yīng)的波長的光聚焦到物體表面，再反射回接收器。
4.橫向分辨率高：從上到下被測物總是在焦點上，測量光斑極為微小，因此能分辨被測物上的微小輪廓變化。
5.模塊化小型化：鏡頭和控制器可以通過光纖連接，傳輸距離遠，鏡頭可以做得很小，便于并排安裝。
6.調(diào)頻抗干擾：波長是調(diào)頻信號，對光強變化等調(diào)幅干擾不敏感。光纖對電磁干擾、雷電浪涌不敏感。
7.全息性：理論上任意一束返回光譜分析儀的光線的波長都攜帶了距離信息，部分光被遮擋影響小。
8.安全性高：壽命長的LED光源，微小功率的白光，比激光對人眼安全，不受限于激光危害等級。
深圳立儀科技有限公司成立于 2014 年，位于深圳市光明區(qū)，是一家以生產(chǎn)銷售光譜共焦位移傳感器及其配套設(shè)備為主的精密光學(xué)民營高科技企業(yè)。從 2014 年成立至今立儀一直以打造高規(guī)格的光譜共焦位移傳感器并減少成本普及推廣為志向，匯集光學(xué)、機械、軟件人才晝夜奮戰(zhàn)，數(shù)年磨一劍，開發(fā)出自主知識產(chǎn)權(quán)的精密光譜共聚焦位移傳感器商業(yè)化產(chǎn)品系列，破除封鎖彌補空白，并在原有基礎(chǔ)上有大幅改進并申請了多項發(fā)明專利。我們還提供本土的相關(guān)技術(shù)支持、產(chǎn)品選型、應(yīng)用方案咨詢、測樣驗證、配套組件、開發(fā)協(xié)助、非標定制、校準維修，讓客戶用的舒心，用的放心。高效研發(fā)，自主創(chuàng)新，為客戶提供卓越的產(chǎn)品和服務(wù)。讓科技利益眾生，期待與各界公司和人士共同努力一起合作，共創(chuàng)輝煌！
