2021-06-15
? 白光共焦技術(shù)用于精密測量和3D測量領(lǐng)域
對于光學透鏡表面輪廓的測量，常用的測量方法有探針法和白光干涉法。彩色激光位移同軸測量儀，采用白光作為測量介質(zhì)，白光在特殊的透鏡組中會形成色散效應(yīng)。被測物體的不同深度會反射不同顏色的光，從而測量探頭到被測物體表面的距離和位移。
它特別適用于測量全反射面如鏡面，因為它不同于激光三角反射傳感器，光源垂直于被測物體，反射也垂直于探頭，鏡面能最大限度地反射光斑。三角形反射傳感器更適合于散射表面的測量。
利用光譜共焦傳感器測量，可以獲得超高分辨率。納米尺度的分辨率是通過上述特殊處理獲得的延長光譜范圍得到的。由于探測焦點的顏色是用來獲取距離信息的，因此光譜共聚焦傳感器可以使用非常小的測量點，從而允許測量非常小的物體。這也意味著即使是被測量表面上最輕微的劃痕也無法逃脫光譜共焦傳感器的眼睛。
白光干涉法是一種非接觸式光學測量方法，它避免了接觸式測量方法存在的問題，同時具有較高的測量精度。但是白光共焦法需要圖像拼接來獲得完整的輪廓，圖像拼接會產(chǎn)生誤差，因此不適合大體積或陣列分布的透鏡輪廓的測量。
光譜共焦傳感器具有上述兩種測量方法的優(yōu)點，同時還具有超高的角度特性，測量頻率可達2000Hz，具有高精度的測量平臺，保證了輪廓數(shù)據(jù)的水平分辨率，實現(xiàn)了精密測量和三維測量的要求。
