05-19
2022白光干涉儀的原理及應用
白光干涉儀，光譜共焦位移傳感器，線激光位移傳感器，膜厚儀都是高精度檢測儀器，本篇立儀科技小編就帶領(lǐng)大家一起來了解了解白光干涉儀原理及其應用：原理：光源發(fā)出的光經(jīng)過擴束準直后經(jīng)分光棱鏡后分成兩束，一束經(jīng)被測表面反射回來，另外一束光經(jīng)參考鏡反射，兩束反射光最終匯聚并發(fā)生干涉，顯微鏡將被測表面的形貌特征轉(zhuǎn)化為干涉條紋信號，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌。白光干涉三維形貌儀是利用光學干涉原理研制...
